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| Catalog Datasheet | Type | Document Tags | |
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Contextual Info: プラズマプロセス中のスペクトルを広帯域で計測し リアルタイムでモニタリングする装置です。 プラズマプロセスをリアルタイムでモニタリング C10346は、半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、 |
Original |
C10346ã SSMS0031J03 JUN/2014 |